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小型离子溅射仪喷金仪

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品牌名称: 英鹏

产品标签: 离子溅射仪

产品产地: 广东广州

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厂家区域: 广东广州市

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产品详情

产品名称	离子溅射仪
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用.
	1、水：不需要
	2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地
	3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀）
	4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上
	5、通风装置：不需要
主要参数	1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵)
	2、输出功率：1600VDC50mA(最大电流)
	3、石英置：0160mm×120mm
	4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，最高温度可到500℃：最长溅射时间不可超过5min)
	5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

	7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3Mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni
产品规格	尺寸：360mm×350mm×3600mm;
	重量：50kg
可选配件	1、KF25真空接口、卡箍
	2、不锈钢波纹管(600mm)
	3、旋片式真空泵(120L/M)
	4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材
	5、加热型样品台

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