MKS AA08A Micro-Baratron 压力传感器

MKS AA08A 压力传感器规格

• 配置

  流通

• 测量类型

  绝对

• 满量程压力

  1000 托至 3000 磅/平方英寸

• 准确性

  阅读的 1.0%

• 零温度系数

  满量程的 0.02%/°C，50 psia 至 3000 psia
  满量程的 0.04%/°C，1000 Torr

• 跨度温度系数

  读数的 0.04%/°C，50 psia 至 3000 psia
  读数的 0.08%/°C，1000 Torr

• 超压限制

  1.5 x 满量程，范围从 1000 Torr 到 500 psi
  1.2 x 满量程，范围从 501-3000 psi

• 爆破压力

  10 x 满量程，范围从 1000 Torr 到 500 psi
  5 x 满量程，范围从 501-3000 psi

• 润湿表面

  Incoloy®

• 表面处理

  ≤5µ in Ra

• 电源要求

  13 至 32 VDC @ 10 mA 最大值

• 环境工作温度

  0° 至 50°C

  
  

MKS AA08A 压力传感器特征

Baratron® 电容压力计技术

电容压力计是可以测量压力和真空的机电仪表。电容计将薄膜中的压力调制运动转换为与压力成正比的电信号。压力传感器是一个薄膜，它暴露在通过入口管测量的压力或真空中。电极安装在隔膜后面的参考腔中。工艺腔和参比腔之间的压力差使隔膜轻微偏转，从而改变它与电极之间的距离。该距离的变化会导致隔膜和电极之间的电容发生变化，从而产生与压力变化成正比的电信号。

使用 Baratron® 电容压力计进行气体独立压力测量。示意图显示了内部组件和功能区。

阅读准确率百分比

精度被指定为读数的百分比，而不是在一些低性能设备中看到的满量程。读数精度百分比为您在压力范围的较低刻度内提供更准确的输出信号，这是最需要的。

非常适合超纯气体输送系统

AA07A/AA08A 传感器非常适用于将超纯气体输送到关键工艺系统的输送系统。它们暴露在气流中的润湿表面的光洁度优于 5 µin Ra。这些换能器表现出卓越的干燥特性，并且不会产生高于背景的颗粒。在制造和组装之后，在 100 级环境中进行双重装袋之前，它们会用超净氮气吹扫。

全 Incoloy® 结构

AA07A/AA08A 中传感器的全 Incoloy® 结构允许高过压容差，从而减少由于管线压力尖峰引起的错误。高爆破压力等级有助于整体系统安全。在现有的气柜和过程系统上，由于这些传感器的尺寸小、符合行业标准的端到端长度和电气接口选择，因此可以轻松地现场更换普通千分表或性能较低的传感器。

可选的本地显示

可选的本地集成显示器可提供传感器管线压力的数字读数。该显示器可用于具有 0-10 VDC 输出信号的 1000 Torr、100 和 250 PSIA 范围，提供高度可见的红色 LED 压力和测量单位显示。显示器还可以切换为显示四种不同单位（PSIA、Torr、bar 和 kPa）中的任何一个，而无需重新校准或重新调整传感器本身的量程。它从输入的传感器电压中获取能量，因此不需要额外的电缆。