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MKS 901P MicroPirani 和压电式 Loadlock 真空压力传感器

品牌名称
MKS
产品标签
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产品详情
  • 绝对压力测量范围从 1,000 到 10 SITIon: relative; vertical-align: baseline; top: -0.5em;">-5 Torr

  • 单个传感器中的 3 传感器功能可实现广泛的测量范围

  • 模拟、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本

  • 可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示

  • 快速、准确和可重复的压力测量减少了过程周期时间

  • 三个可选设定点,响应时间快,可实现可靠的过程控制

901P规格

  • 绝对测量范围

    1.0 x 10 -5至 1500 托

  • 差分测量范围

    -760 至 +760 托

  • 数字通讯

    RS485/RS232(4800 至 230400 波特)

  • 传感器

    MicroPirani™(MEMS 热导率)
    压电微分(MEMS 振膜)

  • 继电器

    3 个继电器 SPDT(可选)

  • 设定点范围

    绝对值:5.0 x 10 -4至 1000 Torr:差值:-760 至 +100 Torr

  • 校准气体

    空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸汽、CO2、氙气、氖气

  • 工作温度

    0° 至 40°C(32° 至 104°F)

  • 最高烘烤温度

    85°C (185°F),非工作

  • 数字控制

    调零、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认值、设定点功能:值、滞后、方向、启用、传感器状态、开关、LED 测试

  • 数字状态

    绝压和压差读数、单位、设定点、工作时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商

  • 模拟输出

    绝对压力:1 至 9 VDC,1 VDC/decade,100Ω 最大输出阻抗(16 位)

  • 可选模拟输出 2

    压电差分:5 VDC = 0 Torr,1 VDC/decade(12 位)

  • 继电器触点额定值

    1 A @ 3 0VAC/DC,电阻

  • 继电器响应

    最大 100 毫秒

  • 电源要求

    RS232/RS485:9 到 30 VDC,最大 < 1.2 瓦
    EtherCAT:9 到 30 VDC,最大 < 2 瓦

  • 微皮拉尼精度

    5 x 10-4 to 1 x 10-3 Torr ±10% of reading
    1 x 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
    100 Torr to Atm ±25% of reading

  • 微皮拉尼重复性

    1 x 10-3 至 100 Torr ±2% 读数

  • 压电差分精度

    -10 至 +10 Torr ±10% 读数
    -100 至 -10 Torr ±8% 读数
    -760 至 -100 Torr ±1% 读数
    +10 至 100 Torr ±5% 读数

  • 压电差分重复性

    -760 至 +10 Torr ±1% 读数

  • 压电微分零稳定性

    满量程的 ±0.1%(满量程 = 760 Torr)

  • 超压限制

    1500 托(绝对值)

  • 内部容积

    (KF16) 2.8 毫升

  • 外露材料

    硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304 不锈钢、Viton®

  • 电子外壳和法兰

    304不锈钢

  • 重量

    170 克(带 KF 16 法兰)

绝压和差压测量

901P 结合了绝压和差压测量技术,以提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量,范围为 50 -1000 Torr,其精度比热导率传感器更高。


MicroPirani™ 传感器技术

与传统的皮拉尼真空计不同,MicroPirani™ 中的传感器元件由一平方毫米的硅芯片制成,允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani™ 技术,901P 可以读取低至 10 -5 Torr 的压力,比标准皮拉尼传感器低 20 年。传感器设计最大限度地减少了对流的影响,因此 901P 可以安装在任何方向,而不会影响精度。


压电差分传感器技术

Piezo 是一种压差传感器,可确保在不同的气压条件下正确测量气压。压电技术是直接压力读数,允许测量独立于气体。压电传感器相对于大气压的测量范围为 -760 至 +760 Torr。


模拟压力输出

901P 还具有每十进制 1VDC 的模拟压力输出,可以连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供差压测量。


三个过程控制继电器

901P 具有多达三个机械继电器,可用于过程控制,例如互锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给差分压电测量或组合绝对 MicroPirani™ - 压电测量。


紧凑的设计

这些真空传感器的紧凑设计显着减少了真空计占用的空间量。这对系统设计人员特别有吸引力,并允许更紧凑的真空系统。


可选的集成触摸屏显示器

可选的集成触摸屏显示器可由用户配置;用户可以更改压力单位、方向,并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上可以在 5 米以外看到来自单个传感器的显示压力读数或组合读数。




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