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光谱共聚焦位移传感器测量晶圆厚度

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光谱共聚焦位移传感器

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色散共焦位移传感器ER

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产品详情
X行程:
1400
波长范围:
350
X行程 1400
波长范围 350
产地 法国
电压 220V
放大倍数 150倍
精度 120nm
类型 光谱共焦
售后服务 一年保修
线性精度 0.0001
颜色 白色
重现性 0.0001
执行质量标准 欧规
操作方式 全自动
测量行程 1400
品牌 ERT
型号 LHCL4-MG35
质量认证 ROHS

控制器型号
型号 CCS OPTIMA+
采样频率 100 to 10000 points/sec用户可定义
光源 白色LED灯
光源亮度设置 可以编程控制
可设置功能

lock on first surface Hold last value

Thinkness calibration Auto LED(10)

Tutodark(11) Double frequency

测量模式 距离/厚度
校准表(**大值) 20
编码器输入(12) **多3轴-TTL信号输入-30bits 计数器>1亿步
数字输出 30 bits 分辨率
模拟输出 2路[0-10V]-16 bits 分辨率
数字 I/O USB2.0 and RS232/RS422(up to 460800 baud)
同步I/O 1 Synchro input(TTL)/1 Synchro output(TTL)
光纤连接器 E2000型(插-拔),带自动防护
兼容性 兼容所有型号测头
电源/功耗 24V DC 3A /20W
工作温度 5℃-40℃
放置温度 -30℃-70℃
相对湿度 5%-80% HR 无冷凝
防护等级 IP 40
电磁兼容性EMC EN61000-6-3和EN61000-6-2标准
重量 1.4Kg
尺寸(长×宽×高) 168mm×120mm×138mm

1、Auto LED功能,根据被测物体的反射率,允许CCS控制器来动态调节LED灯的功率,以便一直适应被测物体的变化;
2、Auto LED功能,CCS控制器可以自动调节电平信号常数;
3、增量式编码器输入端口可以实时进行位置扫描系统的运动轴(**多3轴)的采集,用于位置扫描系统与传感器测量值的同步。

光纤线规格
Model 长度 Coreφ φmax 外壳 连接器类型
E50-3 3M 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-5 5m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-10 10m 50/125μm 3mm 标准 E2000
E50-3-M 3m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-5-M 5m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-10M 10m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
E50-20-M 20m 50/125μm 3mm 金属外壳 E2000
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