质量流量计控制器 微小流量气体传感器,数字信号输出质量流量计

 质量流量计控制器 微小流量气体传感器,数字信号输出质量流量计

CS200数字式气体质量流量控制器

产品型号：CS200C

产品系列：CS系列数字式质量流量控制器

产品类型：高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

产品型号         CS200C

产品类型         高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

流量量程 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度         ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重复精度         ±0.2% FS

线性         ±0.5% F.S.

响应时间         ≤0.8sec

工作温度范围         (0~50)°C

耐压         3MPa

密封材料         金属密封 metal

输入输出信号         (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

电源         ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型     常开或常闭

温度系数         Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

零点飘移指标         ＜0.6%F.S. per year without autozero

电气连接         Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围         (0.05～0.35) MPa（F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

漏率         1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）

标准接头形式         双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化学成分         CrO thickness ＞20 Angstroms

表面粗糙度     10?inch

抗电磁干扰     CE

重量         1.2Kg