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1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空样品室:直径:160mm,高:110mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 2×10-1—10-1mbar
5.离子电流表:0-50mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.溅射电压:-1600DVC
8.飞越真空泵(VRD-4):1.1L/S
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体
10.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。
¥12.00/件
¥23.00/件
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