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英鹏型号:YP-1100X-16防爆型号:YP-1100X-16/EX |
英鹏型号:YP-1100X-16防爆型号:YP-1100X-16/EX |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
1、水:不需要 |
2、电:AC220V50Hz,必须有良好接地 |
3、气:设备腔室内需充注氢气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) |
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 |
5、通风装置:不需要 |
1、电源:220V |
2、总功率:<2000W(包括镇空泵) |
3、真空室:0160mm×120mm |
4、样品台:O50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜 |
5、max均匀镀膜:045mm |
尺寸:400mmx300mm×400mm |
重量:30KG |
1、金靶材1个 |
2、进气针阀1个 |
3、保险丝2个 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
¥1.00/件
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¥80.00/件
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¥40.00/件
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¥140.00/件
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