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OPTEX激光位移传感器CD33

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入江贸易(沈阳)有限公司

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产品详情
产地:
日本
类型:
激光位移传感器
产地 日本
类型 激光位移传感器
种类 传感器
品牌 OPTEX
型号 CD33系列

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应用:掩模高度控制和玻璃基板厚度测量
使用正反射型位移传感器CD33-L30控制掩模的高度,同时测量玻璃的厚度。 测量到掩模的3点距离,调整到很好的高度,然后玻璃基板通过其上时测量厚度。 如果是透明度高的玻璃基板,无需用2台位移传感器夹住进行测量,即可实现稳定的厚度测量。也可测量厚度
测量透明体时,正反射型不仅可测量表面的位移量,还可测量厚度。
如右图所示,倾斜照射激光时,在受光元件上产生来自玻璃表面和背面的两种反射光。

通过测量这两个反射光的峰值之间,可以测量厚度。


采用独特的内置技术内置放大器! 而且超轻型!
放大器和控制器的功能全部与传感头一体化。 没有必要考虑在控制柜上的设置空间。 而且约65g和超轻设计! 也可以搭载在芯片安装器和机械臂等可动部上。

型?式 CD33-120□□□ CD33-250□□□
測定中心距離 120mm 250mm
測定範囲 ±60mm ±150mm
F.S.(フルスケール) 120mm 300mm
光源 赤色半導体レーザ?波長:655nm?最大出力:1mW
レーザクラス IEC/JIS:CLASS 2?FDA:CLASSⅡ
スポットサイズ※1 1.0×1.5mm 1.75×3.5mm
リニアリティ ±0.1%F.S. ±0.3%F.S.
繰返精度 30μm
(応答時間:Fast時のみ45μm)
75μm
(応答時間:Fast時のみ100μm)
サンプリング周期 0.5(初期設定)、1、1.5、2ms 4段階切換可能 0.75(初期設定)、1、1.5、2ms 4段階切換可能
応答時間※2
アベレージング
Fast 5ms以下:アベレージング1回(1ms)+感度切換時間(4ms) 7.5ms以下:アベレージング1回(1.5ms)+感度切換時間(6ms)
Standard 12.5ms以下:アベレージング16回(8.5ms)+感度切換時間(4ms) 19ms以下:アベレージング16回(13Ms)+感度切換時間(6ms)
High-resolution 36.5ms以下:アベレージング64回(32.5ms)+感度切換時間(4ms) 55ms以下:アベレージング64回(49ms)+感度切換時間(6ms)
温度特性 ±0.08%/℃ F.S.
表示灯 距離表示 操作面上LEDバー表示(25段階)
出力表示 出力時Q1、Q2LED点灯(橙色)
入力表示 入力時MF LED点灯(橙色)
MF(マルチファンクション)入力 レーザ放射停止、外部ティーチ※3、サンプル&ホールドから選択可能?応答時間:3ms以下
接続形態 コード式:ケーブル長2m φ5?コネクタ式:M12 8ピン
保護回路 逆接続保護、過電流保護機能
保護構造 IP67
使用周囲温度/湿度 -10~+45℃/35~85% RH(氷結?結露なきこと)
使用周囲照度 太陽光:10,000lx、白熱ランプ3,000lx
耐振動 10~55Hz、複振幅1.5mm、X,Y,Z各方向2時間
耐衝撃 約50G(500m/s2)、X,Y,Z各方向3回
回路安定時間 約1.5s
ウォームアップ時間 15min. max.
材質 ケース:PBT、フロントカバー:PMMA、ケーブル:PVC
質量(コード含まず) 約65g
種?類 アナログ電流タイプ アナログ電圧タイプ RS-422タイプ
型?式 NPNタイプ CD33-□□NA CD33-□□NV CD33-□□N-422
PNPタイプ CD33-□□PA CD33-□□PV CD33-□□P-422
電源電圧 DC12~24V、+10/-5% DC18~24V、+10/-5% DC12~24V、+10/-5%
消費電流 max.85mA
(DC24V時、アナログ出力を含む)
max.55mA(DC24V時)
制御出力 出力ch数 2ch:Q1、Q2(Q2の初期設定は自己診断出力) 1ch:Q2
(初期設定は自己診断出力)
出力方式 NPN/PNP オープンコレクタ出力 100mA max./DC30V?残留電圧1.8V
アナログ出力 4~20mA 負荷インピーダンス : 300Ω以下 0~10V 出力インピーダンス : 100Ω 非装備
適用法令 EMC指令(2004/108/EC) / FDA規則(21 CFR 1040.10)
適用規格 EN 60947-5-7 EN 60947-5-2
型?式 NPNタイプ CD33-L30□N-422 CD33-L50□N-422 CD33-L85□N-422
PNPタイプ CD33-L30□P-422 CD33-L50□P-422 CD33-L85□P-422
測定対象物体 鏡面体、ガラス
測定中心距離 26.3mm 47.3mm 82.9mm
測定範囲 ±2mm ±5mm ±10mm
F.S.(フルスケール) 4mm 10mm 20mm
光源 赤色半導体レーザ?波長:655nm?最大出力:390μW
レーザクラス IEC/JIS:CLASS 1?FDA:CLASSⅡ
スポットサイズ※1 0.1×0.1mm
リニアリティ ±0.2%F.S.
繰返精度 1μm 2.5μm 5μm
サンプリング周期 0.5(初期設定)、1、1.5、2ms 4段階切換可能
応答時間※2
アベレージング
Fast 5ms以下:アベレージング1回(1ms)+感度切換時間(4ms)
Standard 12.5ms以下:アベレージング16回(8.5ms)+感度切換時間(4ms)
High-resolution 36.5ms以下:アベレージング64回(32.5ms)+感度切換時間(4ms)
制御出力 出力ch数 1ch:Q2(初期設定は自己診断出力)
出力方式 NPN/PNPオープンコレクタ出力、100mA max./DC30V、残留電圧1.8V
アナログ出力 非装備
通信機能 RS-422?9.6k?256kbps
温度特性 ±0.08%/℃ F.S
表示灯 距離表示 操作面上LEDバー表示(25段階)
出力表示 出力時Q2 LED点灯(橙色)
入力表示 入力時MF LED点灯(橙色)
MF(マルチファンクション)入力 レーザ放射停止、外部ティーチ※3、サンプル&ホールドから選択可能?応答時間:3ms以下
電源電圧 DC12~24V、+10/-5%
消費電流 max. 55mA(DC24V時)
接続形態 コード式:ケーブル長2m φ5?コネクタ式:M12 8ピン
保護回路 逆接続保護、過電流保護機能
保護構造 IP67
使用周囲温度/湿度 -10~+45℃/35~85% RH(氷結?結露なきこと)
使用周囲照度 太陽光:10,000lx、白熱ランプ3,000lx
耐振動 10~55Hz、複振幅1.5mm、X,Y,Z各方向2時間
耐衝撃 約50G(500m/s2)、X,Y,Z各方向3回
適用法令 EMC指令(2004/108/EC) / FDA規則(21 CFR 1040.10)
適用規格 EN 60947-5-2
回路安定時間 約1.5s
ウォームアップ時間 15min. max.
材質 ケース:PBT、フロントカバー:PMMA、ケーブル:PVC
質量(コード含まず) 約65g

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